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AF Coater

PeCVD & Thermal Evaporation 방식으로 부품표면에 Fluorine Chemical Compound를 Deposition하여 고 밀착성의 Anti Finger 기능을 부가하는 설비이고, 용도는 Smart Phone & Tablet PC등의 강화유리에 AF Coating.

Features 테이블
Features
1 High User Friendly 1. Rotative & Orbital Load/Unloading
2. Magazine 12ea Load/Unloading
Production Capacity E-Beam 대비 4~6배 [Size]
2 Low Chamber Size E-Beam 대비 3/4
Temp (25~35˚) E-Beam 80℃ 이상
Operating Cost E-Beam 대비 Vacuum Pumping 低
Coefficient Of Friction
Specification 테이블
Specification
Works Space L4500*D6500*H2700
Weight 4.5 Tons
Main Chamber Φ1,600*H1600
Source PeCVD+ Evaporation
Work Jig Φ300 * 12 Axis
Pump Diffusion Pump 20” 1 Set
Rotary & Booster Pump E2M275 & EH2600
Vacuum Level 5*10-5torr
Option Chiller 15RT
Poly Coldp 100,000L/Sec
layout 테이블
Layout
Comparison 테이블
Comparison
Wise AF-1600 PeCVD ( Φ1,600 ) E-Beam AF ( Φ2,050 )
Capa Batch Time 40min 45min
Glass Size 4” 7” 10.1” 4” 7” 10.1”
1 Batch 1,080 320 192 260 99 135
Day [22Hr] 35,640 10,560 6,336 8,580 3,267 1,155
Month [26Day] 926,640 274,560 164,736 223,080 84,942 30,030
Deposition Temp 25~35℃ 80℃ 이상
Target Rotative & Orbital Magazine 12ea Dome
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